กระบวนการนี้คือการให้ความร้อนภายใต้ความดันที่ลดลง พร้อมทั้งเติมก๊าซที่มีคาร์บอน (เช่น แอซิทีลีน) เข้าสู่เตา เพื่อให้ก๊าซสัมผัสกับชิ้นงานที่ผ่านการให้ความร้อนในอุณหภูมิสูงและเกิดการแทรกซึมของคาร์บอนเข้าไปในเนื้อวัสดุ
กระบวนการนี้เกิดขึ้นภายใต้ความดันที่ต่ำกว่าปกติ จึงนำไปสู่คุณสมบัติดังต่อไปนี้
- ไม่มีการเกิดออกซิเดชันที่ขอบเขตเม็ดผลึก (Grain Boundary Oxidation) เนื่องจากบรรยากาศภายในเตาปราศจากออกซิเจนและความชื้น
- สามารถอบได้ที่อุณหภูมิสูงกว่าแบบก๊าซทั่วไป ช่วยลดเวลาในการแทรกซึมของคาร์บอน โดยยังคงได้ความลึกของชั้นคาร์บูไรซ์ที่มีประสิทธิผลเทียบเท่ากัน
- การแทรกซึมของคาร์บอนมีความสม่ำเสมอ แม้ชิ้นงานจะมีรูปทรงซับซ้อนหรือมีความหนาที่แตกต่างกัน